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发明名称 CVD REACTOR WITH MULTIPLE PROCESSING LEVELS AND DUAL-AXIS MOTORIZED LIFT MECHANISM
摘要
申请公布号 KR20110056553(A) 申请公布日期 2011.05.30
申请号 KR20117008927 申请日期 2009.09.17
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 COLLINS RICHARD O.;MYO NYI OO;BAUTISTA KEVIN J.;WEBB JOHN S.;SANCHEZ ERROL C.;HUANG YI CHIAU;PATALAY KAILASH KIRAN;ZHOU ZHI YUAN;YU WILSON
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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