| 发明名称 |
COATING CHAMBER WITH A MOVEABLE SHIELD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110056392(A) |
申请公布日期 |
2011.05.27 |
| 申请号 |
KR20117006807 |
申请日期 |
2009.08.13 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
WOLF HANS;LINDENBERG RALPH |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C14/56;C23C16/458;H01L21/673 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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