| 摘要 |
Es wird ein Verfahren zum Abgleich eines Beschleunigungssensors, welcher ein Substrat und eine seismische Masse aufweist, vorgeschlagen, wobei der Besrat befestigte erste und weitere erste Elektroden aufweist, wobei zwischen den ersten und den weiteren ersten Elektroden Gegenelektroden der seismischen Masse angeordnet sind, wobei der Beschleunigungssensor auf einer zweiten Seite weitere zweite Elektroden und auf einer der zweiten Seite gegenüberliegenden vierten Seite weitere vierte Elektroden aufweist, wobei in einem ersten Schritt an die ersten und weiteren ersten Elektroden eine im Wesentlichen gleiche erste Anregungsspannung zur Anregung einer ersten Auslenkung der seismischen Masse entlang einer ersten Richtung angelegt wird, wobei in einem zweiten Schritt die erste Auslenkung durch Anlegen einer ersten Kompensationsspannung an die weiteren zweiten und die weiteren vierten Elektroden kompensiert wird. |
