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发明名称
摘要
申请公布号	JP2011517071(A)	申请公布日期	2011.05.26
申请号	JP20110502229	申请日期	2008.11.19
申请人		发明人
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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