发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle oder eines Transistors mit einer kristallinen Silizium-Dünnschicht
摘要 <p>Zur Herstellung einer Dünnschichtsolarzelle oder eines Dünnschichttransistors werden auf der Oberfläche des Substrats (1) kristalline Siliziumteilchen fixiert, worauf eine kristalline Silizium-Dünnschicht aus verschiedenen Teilschichten (2) epitaktisch abgeschieden wird.</p>
申请公布号 DE102009042886(A1) 申请公布日期 2011.05.26
申请号 DE20091042886 申请日期 2009.09.24
申请人 SCHOTT AG 发明人 SPEIT, BURKHARD;HANSEN, ROLF
分类号 H01L31/18;H01L21/20;H01L29/786 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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