发明名称 Abbildende Optik
摘要 <p>Eine abbildende Optik (7) hat eine Mehrzahl von Spiegeln (M3; M5, M6, M8), die Abbildungslicht (3) reflektieren und hierdurch ein Objektfeld in einer Objektebene in ein Bildfeld in einer Bildebene abbilden. Ein Spiegelkörper (22) mindestens eines der Spiegel (M8) hat eine Durchgangsöffnung (21) zum Durchgang des Abbildungslichts (3). Die Durchgangsöffnung (21) hat im Spiegelkörper (22) einen Innenbereich (23) kleinster Öffnungsweite. Die Durchgangsöffnung (21) erweitert sich vom Innenbereich (23) hin zu beiden Randbereichen (24, 25) des Spiegelkörpers (22). Es resultiert eine abbildende Optik, bei der ein störender Einfluss von nicht genutzten Lichtanteilen verringert oder ganz beseitigt ist.</p>
申请公布号 DE102009046685(A1) 申请公布日期 2011.05.26
申请号 DE20091046685 申请日期 2009.11.13
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 LOERING, ULRICH;MUELLER, RALF;MANN, HANS-JUERGEN;BAER, NORMAN
分类号 G02B17/06;G03F7/20 主分类号 G02B17/06
代理机构 代理人
主权项
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