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发明名称
METHOD OF FABRICATING HIGH INTEGRATED SEMICONDUCTOR APPARATUS AND SEMICONDUCTOR APPARATUS FABRICATED THEREBY
摘要
申请公布号
KR101037495(B1)
申请公布日期
2011.05.26
申请号
KR20080075039
申请日期
2008.07.31
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;H01L21/28
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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