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Optische Anordnung zur Homogenisierung eines zumindest teilweise kohärenten Lichtfeldes eines Lichtpulses, einer gepulsten Lichtquelle, insbesondere eines Lasers, vorzugsweise eines Excimer-Lasers, bestehend aus mindestens einem optischen Umlauf, wobei im optischen Umlauf eine Strahlteilereinrichtung vorgesehen ist. Die Strahlteilereinrichtung trennt das Lichtfeld in zwei senkrecht zueinander polarisierte Teilstrahlen mit einer ersten und einer zweiten Polarisationsrichtung auf, wobei die ersten Teilstrahlen mit der ersten Polarisationsrichtung ohne den Umlauf zu durchlaufen zu einer zu beleuchtenden Fläche gelangen, und die zweiten Teilstrahlen mit der zweiten Polarisationsrichtung den optischen Umlauf durchlaufen, wobei im optischen Umlauf ein Polarisationsrotator vorgesehen ist, der die zweite Polarisationsrichtung der zweiten Teilstrahlen um einen vorgebbaren Winkel dreht, so dass mindestens ein Teil der zweiten Teilstrahlen den optischen Umlauf mit der ersten Polarisationsrichtung erneut durchlaufen, und dass durch die Strahlteilereinrichtung der andere Teil der zweiten Teilstrahlen mit der zweiten Polarisationsrichtung aus dem Umlauf ausgekoppelt wird und zeitversetzt überlagert zu den ersten Teilstrahlen zu der zu beleuchtenden Fläche gelangen.
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