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经营范围
发明名称
WÄRMEBEHANDLUNGSSYSTEM
摘要
申请公布号
DE60239766(D1)
申请公布日期
2011.05.26
申请号
DE20026039766
申请日期
2002.11.25
申请人
TOKYO ELECTRON LTD.
发明人
SAITO, TAKANORI;YAMAGA, KENICHI;NAKAO, KEN
分类号
H01L21/28;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/324
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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