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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Tempern von III-V-Wafern sowie getemperte III-V-Halbleitereinkristallwafer
摘要
申请公布号 DE502006009291(D1) 申请公布日期 2011.05.26
申请号 DE200650009291T 申请日期 2006.06.02
申请人 FREIBERGER COMPOUND MATERIALS GMBH 发明人 JURISCH, MANFRED DR.;EICHLER, STEFAN DR.;BUENGER, THOMAS;WEINERT, BERNDT DR.;BOERNER, FRANK DR.
分类号 C30B33/00;C30B29/40;C30B29/42;C30B33/02 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
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