发明名称 |
防潮湿传感器支架 |
摘要 |
本实用新型涉及一种支架。公开了一种防潮湿传感器支架,用于将传感器固定于容器外壁,包括支架体,所述支架体上设有用于卡住容器的竖直方向卡槽,所述支架体还设有水平方向的传感器容置通孔,所述支架体的顶板是多孔板,所述防潮湿传感器支架还包括导流管和负压源,所述多孔板的底端通过导流管与负压源连通。本实用新型通过将支架体的顶板改成多孔板,通过多孔板来吸附沿容器管壁流下的冷凝水,并通过负压源经接于所述多孔板的底端的导流管将多孔板所吸附的冷凝水及时抽吸排除,从而避免冷凝水靠近传感器,从而保证传感器对容器内液位变化的正确识别,实现连续供应容器内液态化学品的目的。 |
申请公布号 |
CN201844861U |
申请公布日期 |
2011.05.25 |
申请号 |
CN201020564838.0 |
申请日期 |
2010.10.16 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
王学利 |
分类号 |
G01F23/26(2006.01)I |
主分类号 |
G01F23/26(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种防潮湿传感器支架,用于将传感器固定于容器外壁,包括支架体,所述支架体上设有用于卡住容器的竖直方向卡槽,所述支架体还设有水平方向的传感器容置通孔,其特征在于,所述支架体的顶板是多孔板,所述防潮湿传感器支架还包括导流管和负压源,所述多孔板的底端通过导流管与负压源连通。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |