发明名称 |
手动调节阀 |
摘要 |
本实用新型公开了一种手动调节阀,用于控制超纯水输送管路的开关,并调节超纯水的流速,该手动调节阀包括手动阀以及分别与所述手动阀相连的流量调节装置及检测装置。所述流量调节装置包括圆板、第二连接杆以及旋钮,所述圆板位于所述手动阀的管道内,所述圆板的直径与所述管道的内径相等;所述旋钮位于所述阀壳的顶部;所述第二连接杆的一端与所述圆板相连,另一端穿通所述阀壳后与所述旋钮相连。所述检测装置包括光传感器以及标识装置,所述光传感器包括光发射端及光接收端,所述标识装置根据所述光传感器的状态及所述手动阀的状态显示不同的标识状态。从而可以调节所述手动阀的流速并检测所述手动阀的工作状态。 |
申请公布号 |
CN201844051U |
申请公布日期 |
2011.05.25 |
申请号 |
CN201020506283.4 |
申请日期 |
2010.08.26 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 |
发明人 |
吴良辉;刘本峰;朱小凡 |
分类号 |
F16K3/32(2006.01)I;F16K31/60(2006.01)I;F16K31/143(2006.01)I;F16K37/00(2006.01)I |
主分类号 |
F16K3/32(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种手动调节阀,用于控制超纯水输送管路的开关,并调节超纯水的流速,其特征在于,该手动调节阀包括手动阀以及分别与所述手动阀相连的流量调节装置及检测装置。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |