一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置

摘要

一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置。一种水冷装置，具体涉及一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置。本发明为了解决在定向凝固多晶硅时，现有装置预热不佳、轴向传热不好，传热速率不均匀而造成硅锭断裂的问题。本发明包括石墨预热器和两根水管，还包括水冷底座主体，所述水冷底座主体的上端面中部开有连接凹槽，所述水冷底座主体的下部开有方框状水循环通道，且方框状水循环通道位于连接凹槽的下方，两根水管并排设置在水冷底座主体的下端面上，且每根水管均与方框状水循环通道连通，所述石墨预热器的底部插装在连接凹槽内。本发明安装在定向凝固装置内，用于定向凝固多晶硅。

主权项

一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置，它包括石墨预热器(1)和两根水管(2)，其特征在于：所述一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置还包括水冷底座主体(3)，所述水冷底座主体(3)的上端面中部开有连接凹槽(3‑1)，所述水冷底座主体(3)的下部开有方框状水循环通道(3‑2)，且方框状水循环通道(3‑2)位于连接凹槽(3‑1)的下方，两根水管(2)并排设置在水冷底座主体(3)的下端面上，且每根水管(2)均与方框状水循环通道(3‑2)连通，所述石墨预热器(1)的底部插装在连接凹槽(3‑1)内。