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发明名称 Silicon wafer and method for producing the same
摘要
申请公布号 EP2206809(B1) 申请公布日期 2011.05.25
申请号 EP20090015562 申请日期 2009.12.16
申请人 SILTRONIC AG 发明人 NAKAI, KATSUHIKO, DR.;IKARI, ATSUSHI;OHKUBO, MASAMICHI
分类号 C30B15/00;C30B29/06;H01L21/322 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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