| 发明名称 | 曝光菜单建立方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种曝光菜单建立方法，建立曝光菜单时，使晶圆的槽口方向与光掩膜版长边方向垂直。本发明操作简单，缩短了工作时间，有效地减少了有效芯片的损失，降低了成本，极大的满足了客户的需求。 | ||
| 申请公布号 | CN102074452A | 申请公布日期 | 2011.05.25 |
| 申请号 | CN200910189542.7 | 申请日期 | 2009.11.24 |
| 申请人 | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 | 发明人 | 黄旭鑫 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 何平 |
| 主权项 | 一种曝光菜单建立方法，其特征在于，建立曝光菜单时，使晶圆的槽口方向与光掩膜版长边方向垂直。 | ||
| 地址 | 214000 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 | ||