| 发明名称 | 一种提高利用率的平面磁控溅射靶 | ||
| 摘要 | 一种提高利用率的平面磁控溅射靶，其特征在于包括靶材磁控管外套，靶材磁控管外套的底面连接盖板，盖板与靶材磁控管外套之间有冷却水，靶材磁控管外套内部放置磁额，磁额中制有通水孔，磁额上安装永久磁铁，靶材磁控管外套上安装靶材条和靶材条外侧有靶材条固定块，靶材条成平行相间排列，靶材条之间互相交叠，靶材条的表面为平整面，在靶材磁控管外套和靶材条固定块外有靶材屏蔽罩，靶材磁控管外套内与磁额相连的永久磁铁的磁极为NSN或者SNS平行排列，并垂直于靶材条的表面。 | ||
| 申请公布号 | CN102071401A | 申请公布日期 | 2011.05.25 |
| 申请号 | CN200910154939.2 | 申请日期 | 2009.11.25 |
| 申请人 | 范家秋 | 发明人 | 范家秋 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人 | 王官明 |
| 主权项 | 一种提高利用率的平面磁控溅射靶，其特征在于包括靶材磁控管外套(4)，靶材磁控管外套(4)的底面连接盖板(15)，盖板(15)与靶材磁控管外套(4)之间有冷却水，靶材磁控管外套(4)内部放置磁额(7)，磁额(7)中制有通水孔(8)，磁额(7)上安装永久磁铁(6)，靶材磁控管外套(4)上安装靶材条(1)和靶材条外侧有靶材条固定块(11)，靶材条(1)成平行相间排列，靶材条之间互相交叠，靶材条(1)的表面为平整面，在靶材磁控管外套(4)和靶材条固定块(11)外有靶材屏蔽罩(10)，靶材磁控管外套(4)内与磁额(7)相连的永久磁铁(6)的磁极为NSN或者SNS平行排列，并垂直于靶材条(1)的表面。 | ||
| 地址 | 318020 浙江省台州市黄岩西工业园新屿路68号浙江天翀车灯集团有限公司 | ||