发明名称 |
一种硅片研磨液的搅拌装置 |
摘要 |
本发明提供了一种硅片研磨液的搅拌装置,包括筒体,搅拌装置,所述搅拌装置包括搅拌叶、电机,变频器,所述搅拌叶一端位于筒体内,另一端与所述电机的输出端相连,所述电机的输入端接有所述变频器,由于所述搅拌装置包括搅拌叶、电机,变频器,所述搅拌叶一端位于筒体内,另一端与所述电机的输出端相连,所述电机的输入端接有所述变频器,可对搅拌叶的速度进行调节,搅拌可高低速相互调节,不仅可节约电能,而且避免了长时间高速搅拌,使研磨液因高温而变质。 |
申请公布号 |
CN102068935A |
申请公布日期 |
2011.05.25 |
申请号 |
CN201010523537.8 |
申请日期 |
2010.10.28 |
申请人 |
镇江市港南电子有限公司 |
发明人 |
聂金根 |
分类号 |
B01F13/10(2006.01)I;B01F15/00(2006.01)I |
主分类号 |
B01F13/10(2006.01)I |
代理机构 |
上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 |
代理人 |
季萍 |
主权项 |
一种硅片研磨液的搅拌装置,包括筒体,搅拌装置,其特征在于,所述搅拌装置包括搅拌叶、电机,变频器,所述搅拌叶一端位于筒体内,另一端与所述电机的输出端相连,所述电机的输入端接有所述变频器。 |
地址 |
212132 江苏省镇江市新区大港机电工业园东方路 |