发明名称 一种硅片研磨液的搅拌装置
摘要 本发明提供了一种硅片研磨液的搅拌装置,包括筒体,搅拌装置,所述搅拌装置包括搅拌叶、电机,变频器,所述搅拌叶一端位于筒体内,另一端与所述电机的输出端相连,所述电机的输入端接有所述变频器,由于所述搅拌装置包括搅拌叶、电机,变频器,所述搅拌叶一端位于筒体内,另一端与所述电机的输出端相连,所述电机的输入端接有所述变频器,可对搅拌叶的速度进行调节,搅拌可高低速相互调节,不仅可节约电能,而且避免了长时间高速搅拌,使研磨液因高温而变质。
申请公布号 CN102068935A 申请公布日期 2011.05.25
申请号 CN201010523537.8 申请日期 2010.10.28
申请人 镇江市港南电子有限公司 发明人 聂金根
分类号 B01F13/10(2006.01)I;B01F15/00(2006.01)I 主分类号 B01F13/10(2006.01)I
代理机构 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 代理人 季萍
主权项 一种硅片研磨液的搅拌装置,包括筒体,搅拌装置,其特征在于,所述搅拌装置包括搅拌叶、电机,变频器,所述搅拌叶一端位于筒体内,另一端与所述电机的输出端相连,所述电机的输入端接有所述变频器。
地址 212132 江苏省镇江市新区大港机电工业园东方路