立式热处理装置以及立式热处理方法

摘要

本发明提供一种对于双舟体系统也能以简单结构防止因地震等外力导致舟体搬送机构上的舟体倒转的立式热处理装置和方法，立式热处理装置(1)包括：下部具有炉口(5a)的热处理炉(5)、封闭炉口的盖体(17)、隔着保温筒(19)载置在盖体上并多层保持多个基板(w)的基板保持件(4)、和使盖体升降从而将基板保持件相对热处理炉搬入搬出的升降机构(18)。当另一方基板保持件(4)在热处理炉中时，另一方基板保持件为了基板(w)的移载而被载置于保持件载置台上。在保持件载置台与保温筒之间，基板保持件通过保持件搬送机构被搬送。保持件搬送机构具有限制基板保持件倒转的倒转限制部件。

主权项

一种立式热处理装置，其特征在于，包括：下部形成有炉口的热处理炉；多层保持有多个基板并且被搬入到热处理炉内对基板进行热处理的一对基板保持件；封闭热处理炉的炉口的盖体；设置在盖体上的保温筒；使盖体升降的升降机构；邻接设置在热处理炉的下方的保持件载置台；以及在保温筒上以及保持件载置台上之间对一对基板保持件的各个进行搬送的保持件搬送机构，其中，所述基板保持件具有底板、顶板以及设置在底板与顶板之间并且用于多层保持基板的支柱，所述保持件搬送机构具有支撑所述基板保持件的底板下表面的平面呈U字形的支撑部，在所述保持件搬送机构的所述支撑部的上部设置倒转限制部件，使得在与该支撑部之间以从上下夹持所述基板保持件的底板的方式对基板保持件的倒转进行限制，该倒转限制部件由固定在所述支撑部的基部侧上面的基部以及平面呈U字形的限制片构成，该限制片从倒转限制部件的基部向前方延伸出，并且与支撑在所述支撑部上的所述基板保持件的底板上表面隔着间隙相对，在该限制片的基部侧形成有用于避免与所述基板保持件的所述支柱干涉的切口部，并且所述限制片以避免与所述支柱干涉的方式设定左右的宽度尺寸。