发明名称 |
一种微机电电容式麦克风 |
摘要 |
本实用新型公开了一种微机电电容式麦克风,包括基底、背极板、支撑层和振膜,振膜包括振膜主体和与振膜主体相连的梁结构,振膜通过梁结构支撑在支撑层上,梁结构总体呈圆环状分布,分三层布置。本实用新型麦克风的梁结构设计有利于降低薄膜周边的集中应力,可使得麦克风性能更稳定,并提高了振膜灵敏度;同时大大提高振膜的第二阶模态的固有频率,从而大大降低了麦克风受外界高频信号干扰的风险。 |
申请公布号 |
CN201846472U |
申请公布日期 |
2011.05.25 |
申请号 |
CN201020517729.3 |
申请日期 |
2010.09.02 |
申请人 |
孙博华 |
发明人 |
孙博华;王琳 |
分类号 |
H04R19/04(2006.01)I |
主分类号 |
H04R19/04(2006.01)I |
代理机构 |
广州知友专利商标代理有限公司 44104 |
代理人 |
周克佑 |
主权项 |
一种微机电电容式麦克风,其特征在于:它包括基底(81)、背极板(82)、支撑层(83)和振膜(84),所述基底(81)具有空腔,所述支撑层(83)覆盖在基底(81)上,所述支撑层(83)也具有空腔,所述背极板(82)嵌装在所述基底(81)上,所述振膜(84)整体呈圆形,其包括圆形的振膜主体(841)和与振膜主体(841)相连的环形的梁结构(842),所述梁结构(842)嵌装在所述支撑层(83)的上部且覆盖支撑层(83)的空腔,所述振膜主体(841)以平铺方式架装在所述梁结构(842)上,所述振膜(84)与所述背极板(82)上下相对,两者之间具有间隔。 |
地址 |
515340 广东省广州市增城新塘镇广园东碧桂园凤凰城凤盈苑十一街1座702房 |