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发明名称 Interferometric apparatus for measuring shapes
摘要
申请公布号 EP1568963(B1) 申请公布日期 2011.05.25
申请号 EP20050003800 申请日期 2005.02.22
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOPCON 发明人 CHAN, KINPUI;AKIBA, MASAHIRO;FUKUMA, YASUFUMI;OTSUKA, HIROYUKI;TSUKADA, HISASHI
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01J9/02;G01N21/17 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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