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发明名称 METHOD FOR AN IMPROVED CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20110055617(A) 申请公布日期 2011.05.25
申请号 KR20117005670 申请日期 2009.07.15
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 WANG YULIN;NANGOY ROY;YILMAZ ALPAY
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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