光扩散器散射特性测量装置及其方法

摘要

本发明涉及光扩散器散射特性测量装置及其方法，用于光刻投影物镜像差在线测量和原位测量的光扩散器的散射特性参数测量，该测量装置包括光源、照明物镜、光扩散器运动平台、探测器、探测器运动平台和探测器读数装置；所述光源、照明物镜、光扩散器运动平台和探测器运动平台依次排列；所述探测器设置在探测器运动平台上；被测光扩散器设置在光扩散器运动平台上；所述探测器读数装置的输入端与探测器的输出端连接；所述光源、照明物镜、被测光扩散器和探测器同光轴设置。本发明的光扩散器散射特性测量装置及其方法，对光扩散器的各个散射特性参数都能进行测量，实现了一台测量装置多种测量功能。

主权项

一种光扩散器散射特性测量装置，其特征在于，用于光扩散器散射特性参数的测量，包括光源、照明物镜、光扩散器运动平台、探测器、探测器运动平台和探测器读数装置；所述光源、照明物镜、光扩散器运动平台和探测器运动平台依次排列；所述探测器设置在探测器运动平台上；被测光扩散器设置在光扩散器运动平台上；所述探测器读数装置的输入端与探测器的输出端连接；所述光源、照明物镜、被测光扩散器和探测器同光轴设置；所述光源发出的光束经所述照明物镜入射到所述被测光扩散器，入射到所述被测光扩散器的光束经该被测光扩散器散射后由所述探测器接收，所述探测器探测经所述被测光扩散器散射的光束的光强，并将光强信号传输给所述探测器读数装置，所述探测器读数装置记录数据，并根据记录的数据计算相应的所述被测光扩散器的散射特性参数。