| 发明名称 | 放电加工装置、放电加工方法及半导体基板的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明的放电加工装置设有N个电极E1～En、交流电源G以及N个电容器C1～Cn，交流电源G向电极E1～En共同施加交流电压，电容器C1～Cn的一端分别与电极E1～En连接，并且另一端共同连接到交流电源G。 | ||
| 申请公布号 | CN102076454A | 申请公布日期 | 2011.05.25 |
| 申请号 | CN200980125002.0 | 申请日期 | 2009.07.23 |
| 申请人 | 三菱电机株式会社 | 发明人 | 民田太一郎;桥本隆;岩田明彦;佐藤达志 |
| 分类号 | B23H1/02(2006.01)I;B23H7/02(2006.01)I | 主分类号 | B23H1/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 金春实 |
| 主权项 | 一种放电加工装置，其特征在于，具备：N个电极，在与工件之间各自地产生放电，其中N是2以上的整数；交流电源或脉冲电源，在所述工件和所述N个电极之间共同施加交流电压或电压脉冲；以及N个电容器，一端分别各自地与所述电极连接，并且另一端共同连接到所述交流电源或脉冲电源。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||