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发明名称 GROUP III-V NITRIDE LAYER AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 EP2009148(A4) 申请公布日期 2011.05.25
申请号 EP20070739020 申请日期 2007.03.19
申请人 KANAGAWA ACADEMY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY;THE UNIVERSITY OF TOKYO;MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION 发明人 FUJIOKA, HIROSHI;KOBAYASHI, ATSUSHI;HORIE, HIDEYOSHI;AMANAI, HIDETAKA;NAGAO, SATORU
分类号 C30B29/38;C03B23/08;H01L21/205 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
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