一种微电流测试装置

摘要

一种微电流测试装置，包括：检测电流极性转换电路，用于测试特定管脚的输入或者输出漏电流，满足微电子电路测试的对称性和灵敏度；多级滤波电路，用于确保抗干扰能力，满足测试的精度；调零补偿模块，包括调零电路和与之相连的漏电补偿电路，用于满足被测件测试时进行调零和漏电补偿，确保了测试的极限灵敏度；皮安级电流放大模块，用于确保了测试的输入稳定性。本发明解决了某些条件下的集成电路的微电流高精度静态测试，具有校准简单、使用方便、功耗很小、精度达到了10-14安培，同时可以进行极性反转测试的特点。

主权项

一种微电流测试装置，其特征在于，包括多级滤波电路、调零补偿模块、检测电流极性转换电路和分别与这些电路相连的皮安级电流放大模块，所述多级滤波电路还分别与所述的检测电流极性转换电路和调零补偿模块相连，其中：检测电流极性转换电路，用于测试特定管脚的输入或者输出漏电流，满足微电子电路测试的对称性和灵敏度；多级滤波电路，用于确保抗干扰能力，满足测试的精度；调零补偿模块，包括调零电路和与之相连的漏电补偿电路，用于满足被测件测试时进行调零和漏电补偿，确保测试的极限灵敏度；皮安级电流放大模块，用于确保测试的输入稳定性。