磁悬浮分子泵的模糊控制方法和模糊控制系统

摘要

本发明涉及一种磁悬浮分子泵的模糊控制方法，包括：通过检测装置检测分子泵实现静态悬浮时的径向磁轴承静态电流信息、轴向磁轴承静态电流信息，分子泵工作时的转子位移偏差和转子位移偏差变化率；根据径向磁轴承静态电流信息和轴向磁轴承静态电流信息计算出磁悬浮分子泵安装角α和径向磁轴承重力因子；将分子泵安装角α、径向磁轴承重力因子、转子位移偏差和转子位移偏差变化率模糊化，查询模糊控制规则经过模糊推理，并经过去模糊化后输出控制径向磁轴承偏置电流信息，控制轴向磁轴承偏置电流信息和控制PID参数信息，完成控制参数整定，从而保证其在任意位置安装均能稳定工作。本发明还介绍了一种采用该模糊控制方法的模糊控制系统。

主权项

一种磁悬浮分子泵的模糊控制方法，其特征在于：包括信息采集步骤通过检测装置检测分子泵实现静态悬浮时的径向磁轴承静态电流信息、轴向磁轴承静态电流信息；分子泵工作时的转子位移偏差和转子位移偏差变化率；模糊控制步骤根据径向磁轴承静态电流信息和轴向磁轴承静态电流信息估算出磁悬浮分子泵安装角α和径向磁轴承重力因子；将分子泵安装角α、径向磁轴承重力因子、转子位移偏差和转子位移偏差变化率模糊化，查询模糊控制规则，经过模糊推理，并去模糊化后输出控制径向磁轴承偏置电流信息，控制轴向磁轴承偏置电流信息和控制PID参数信息，完成控制参数整定，根据参数整定后的PID控制算法输出控制信号来控制磁悬浮分子泵的工作，从而保证分子泵在任意位置安装均能稳定运行。