发明名称 热固型芯片接合薄膜
摘要 本发明提供抑制芯片接合后的固化收缩、由此可以防止在被粘物中产生翘曲的热固型芯片接合薄膜以及切割/芯片接合薄膜以及使用它们制造的半导体装置。本发明的热固型芯片接合薄膜,用于将半导体元件胶粘固定到被粘物上,其中,通过120℃、1小时的热处理而热固化后有机成分的凝胶分数在20重量%以下的范围内,并且通过175℃、1小时的热处理而热固化后有机成分的凝胶分数在10~30重量%的范围内。
申请公布号 CN102074493A 申请公布日期 2011.05.25
申请号 CN201010510344.9 申请日期 2010.10.14
申请人 日东电工株式会社 发明人 宍户雄一郎;高本尚英
分类号 H01L21/68(2006.01)I;H01L21/58(2006.01)I;H01L23/495(2006.01)I;C09J7/02(2006.01)I 主分类号 H01L21/68(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 王海川;穆德骏
主权项 一种热固型芯片接合薄膜,用于将半导体元件胶粘固定到被粘物上,其中,通过120℃、1小时的热处理而热固化后有机成分的凝胶分数在20重量%以下的范围内,并且通过175℃、1小时的热处理而热固化后有机成分的凝胶分数在10~30重量%的范围内。
地址 日本大阪