发明名称 |
热固型芯片接合薄膜 |
摘要 |
本发明提供抑制芯片接合后的固化收缩、由此可以防止在被粘物中产生翘曲的热固型芯片接合薄膜以及切割/芯片接合薄膜以及使用它们制造的半导体装置。本发明的热固型芯片接合薄膜,用于将半导体元件胶粘固定到被粘物上,其中,通过120℃、1小时的热处理而热固化后有机成分的凝胶分数在20重量%以下的范围内,并且通过175℃、1小时的热处理而热固化后有机成分的凝胶分数在10~30重量%的范围内。 |
申请公布号 |
CN102074493A |
申请公布日期 |
2011.05.25 |
申请号 |
CN201010510344.9 |
申请日期 |
2010.10.14 |
申请人 |
日东电工株式会社 |
发明人 |
宍户雄一郎;高本尚英 |
分类号 |
H01L21/68(2006.01)I;H01L21/58(2006.01)I;H01L23/495(2006.01)I;C09J7/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/68(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
王海川;穆德骏 |
主权项 |
一种热固型芯片接合薄膜,用于将半导体元件胶粘固定到被粘物上,其中,通过120℃、1小时的热处理而热固化后有机成分的凝胶分数在20重量%以下的范围内,并且通过175℃、1小时的热处理而热固化后有机成分的凝胶分数在10~30重量%的范围内。 |
地址 |
日本大阪 |