| 发明名称 | 具有探针棒更换单元的阵列测试装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种具有用于自动更换探针棒的探针棒更换单元的阵列测试装置。阵列测试装置包括探针棒、探针框架和探针棒更换单元。探针棒向基板施加电压。探针框架与探针棒联接。探针棒更换单元将探针棒与探针框架联接或将探针棒从探针框架分离。由此，当基板的图案或加载方向变化时，可以自动从探针框架更换探针棒。因此，可以极大地降低人工更换探针棒所需的人力和时间。 | ||
| 申请公布号 | CN102072991A | 申请公布日期 | 2011.05.25 |
| 申请号 | CN201010515967.5 | 申请日期 | 2010.10.22 |
| 申请人 | 塔工程有限公司 | 发明人 | 朴廷喜 |
| 分类号 | G01R31/00(2006.01)I;G01R1/067(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人 | 张文;郭放 |
| 主权项 | 一种阵列测试装置，包括：探针棒，所述探针棒配置为向基板施加电压；探针框架，所述探针框架配置为将所述探针棒与其联接；和探针棒更换单元，所述探针棒更换单元配置为将所述探针棒与所述探针框架联接或将所述探针棒从所述探针框架分离。 | ||
| 地址 | 韩国庆尚北道 | ||