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发明名称 LOCALIZED SUBSTRATE GEOMETRY CHARACTERIZATION
摘要
申请公布号 EP2324495(A2) 申请公布日期 2011.05.25
申请号 EP20090810639 申请日期 2009.08.28
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 VEERARAGHAVAN, SATHISH;SINHA, JAYDEEP, K.;FETTIG, RABI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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