微机械结构的检测方法、微机电组件及其微检测结构

摘要

本发明是关于一种微机械结构的检测方法、微机电组件及其微检测结构，适用于取得一微机械结构所使用的一薄膜层的机械性质，该检测方法包括先形成一微检测结构于微机械结构的一基材上，且该微检测结构的一欲检测部分是由上述薄膜层所构成，接着振动该欲检测部分，并测量出欲检测部分的共振频率，接着经由欲检测部分的几何尺寸、密度及共振频率，而推导出欲检测部分的机械性质，以取得薄膜层的机械性质。此外，微检测结构的型态包括微悬臂梁及无边界梁。本发明额外增加一堆叠层于结构层表面，可提高悬臂梁共振频率的测量准确度，更准确取得悬臂梁即薄膜层的机械性质；另以挠性结构如摺曲梁取代现有直式支撑梁，故可更准确取得检测梁即薄膜层的机械性质。

主权项

一种微检测结构，适于配置于一基材的表面，其特征在于该微检测结构包括：一检测梁，悬置于该基材的表面的上方；复数个挠性结构，悬置于该基材的表面的上方，且该些挠性结构的一端是连接至该检测梁的表面；以及复数个固定座，配置于该基材的表面，且位于该检测梁的外侧，且该些挠性结构的另一端更分别连接至该些固定座。