| 发明名称 | 排气系统 | ||
| 摘要 | 一种排气系统，所述排气系统包括至少一个排气子系统，其中的排气子系统包括压力基准点、压力控制点、排风机和风管集管，所述压力基准点是设置在室内，以提供不受外界环境影响的零点位压力信号。相较于现有技术，本发明通过提供排气系统，将压力基准点设置在室内，可避免受到外界环境条件的干扰，压力基准点的零点位压力得以稳定，确保排气系统的稳定运行。 | ||
| 申请公布号 | CN102072544A | 申请公布日期 | 2011.05.25 |
| 申请号 | CN200910246312.X | 申请日期 | 2009.11.25 |
| 申请人 | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 | 发明人 | 孙屏 |
| 分类号 | F24F7/06(2006.01)I;F24F11/02(2006.01)I | 主分类号 | F24F7/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
| 主权项 | 一种排气系统，包括至少一个排气子系统，所述排气子系统包括压力基准点、压力控制点、排风机和风管集管，其特征在于，所述排气子系统的压力基准点设置在室内。 | ||
| 地址 | 214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 | ||