太阳能薄膜电池激光蚀刻设备及蚀刻方法

摘要

本发明公开了一种太阳能薄膜电池激光蚀刻设备及蚀刻方法。设备包括2套蚀刻系统，相向布置在Y轴基座上，每套蚀刻系统包括X轴运动系统、Y轴运动系统和激光器系统。X轴运动系统和Y轴运动系统，形成滑台结构；工件夹具位于Y轴基座中部的上方，工件夹具的周边夹紧装置安装在机架上，工件夹具的支承装置安装在由位于Y轴基座中部的支柱上；激光器系统安装在X轴运动系统上，激光器系统的蚀刻头伸向工件夹具的下方。本发明Y轴方向的进给距离小，2套蚀刻系统同时工作，分别沿U字形路径作蚀刻运动，联合蚀刻掉工件周边10毫米带状区域的镀膜层，简化了生产工艺，提高了生产效率，成品率和产品质量。

主权项

一种太阳能薄膜电池的激光蚀刻设备，包括机架、Y轴基座、工件夹具和蚀刻系统，机架与Y轴基座固定连接，其特征在于，所述的蚀刻系统为2套，相向布置在Y轴基座上；每套蚀刻系统包括X轴运动系统、X轴基座、Y轴运动系统和激光器系统；所述的X轴运动系统安装在X轴机座上，X轴机座安装在Y轴运动系统上，Y轴运动系统安装在Y轴基座上，形成十字滑台结构；所述的工件夹具位于Y轴基座中部的上方，工件夹具的周边夹紧装置安装在机架上，工件夹具的中央支承装置安装在由位于Y轴基座中部的支柱上；所述的激光器系统安装在X轴运动系统上；激光器系统的蚀刻头伸向工件夹具的下方；所述的工件夹具的周边夹紧装置包括二维定位机构，所述的二维定位机构包括3个固定定位点和3个气缸夹紧点；其中第一固定定位点固定在机架的一个横梁上，第一气缸夹紧点沿Y轴方向对应第一固定定位点设置在机架的另1个横梁上；第二固定定位点和第三固定定位点分别固定在机架的1个纵梁上，第二气缸夹紧点和第三气缸夹紧点沿X轴方向分别对应第二固定定位点和第三固定定位点设置在机架的另1个纵梁上。