晶硅片切割刃料的制备方法

摘要

本发明涉及一种晶硅片切割刃料的制备方法。其以高纯度绿碳化硅为原料，经由颚式破碎并过筛、干法球磨分级、酸洗、溢流分级、浓缩脱水、烘干、混配、精筛等步骤而制成的晶硅片切割刃料。本发明的有益效果：制备出的碳化硅刃料为等积形且保持尖锐的棱角，切割能力强，晶硅片的TTV最小化；经过化学清洗，具备大的比表面积和清洁的外表，与聚乙二醇等切削液有很强的的适配性；采用干法球磨分级系统，集球磨和分级于一体，可以提高产量和产率；本发明制备方法的成品率达到52％，且采用本发明工艺粉磨后的产品颗粒大小分布更均匀，可以达到更好的晶硅片切割效果，行业内采用一般粉磨技术的成品率(适用于硅片切割的粒度段)约为45％。

主权项

一种晶硅片切割刃料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）原料破碎：选取纯度≥98%的绿碳化硅块料，进行颚式破碎并过筛，收集粒度≤5mm的碳化硅粒度砂；（2）干法球磨分级：采用干式球磨分级设备对上述碳化硅粒度砂进行磨粉、分级得粒度为4.5～18um的碳化硅粉体；（3）酸洗：在酸洗池中按1：2～5的重量比引入上述碳化硅粉体和水，再按所引入粉体质量的5%～10%加酸，搅拌反应4～10小时后脱酸以去除金属离子，得料浆；（4）溢流分级：将酸洗后的料浆引入溢流分级装置，根据不同的粒度分级要求，调节料浆浓度，进行溢流分级；（5）浓缩脱水：采用刮刀离心机对分级后的料浆进行浓缩脱水处理，使所得粉料的含水率≤8%；（6）烘干：将浓缩脱水后的粉料送入隧道干燥窑进行干燥，使其含水率＜0.05%；（7）混配：将烘干后的同一粒度段的不同批次的粉料送入干混机干混0.5～2小时；（8）精筛：以超声波振动筛精筛上步所得粉料，去除结团和大颗粒杂质后即得晶硅片切割刃料。