一种晶圆夹

摘要

本实用新型公开了一种晶圆夹，包括一基座，所述基座上形成一圆形槽，基座圆形槽的外周缘上设有数个卡榫装置，卡榫装置包括卡榫卡槽、卡榫弹片和卡榫固定块，卡榫卡槽形成于基座上，卡榫弹片位于卡榫卡槽内，并可在卡榫卡槽内来回移动，卡榫固定块固定在卡榫卡槽上。由于卡榫和晶圆有一定的距离，可避免晶圆受碰撞或挤压，而固定在晶圆夹基座上的防转动装置可防止晶圆在生产过程中发生转动，故此装置可以达到消除晶圆缺角或破片风险的目的，从而达到减少浪费，节约生产成本的目的。

主权项

一种晶圆夹，包括一基座，所述基座上形成一圆形槽，其特征在于：所述基座圆形槽的外周缘上设有数个卡榫装置，所述卡榫装置包括卡榫卡槽、卡榫弹片和卡榫固定块，所述卡榫卡槽形成于基座上，所述卡榫弹片位于卡榫卡槽内，并可在卡榫卡槽内来回移动，所述卡榫固定块固定在卡榫卡槽上。