发明名称 |
太阳能电池中的多孔氧化锌薄膜的制备装置及方法 |
摘要 |
本发明涉及一种太阳能电池中的多孔氧化锌薄膜的制备装置和方法。该装置包括真空室(4)、分别与该真空室(4)相连的用于向该真空室注入氩气的高压氩气瓶(6)和用于控制从所述真空室(4)抽出气体流量的分子泵(5)、放置在真空室(4)内底部的钽炉(1)和放置在真空室(4)内上部的导电玻璃(3)、放置在钽炉(1)内的氮化硼坩埚(2),氧化锌放置在氮化硼坩埚(2)内,钽炉(1)两端施加电压源。本发明提供的装置和方法可以简化敏化太阳能电池的制备工艺和减少制备成本,提高敏化太阳能电池的性能,为敏化太阳能电池的进一步商业化的提供了有利的促进。 |
申请公布号 |
CN102074372A |
申请公布日期 |
2011.05.25 |
申请号 |
CN201110003692.1 |
申请日期 |
2011.01.10 |
申请人 |
东南大学 |
发明人 |
张家雨;李君劲;管秋梅;张晖朝 |
分类号 |
H01G9/04(2006.01)I;H01G9/20(2006.01)I;H01G13/00(2006.01)I;H01M14/00(2006.01)I;H01L51/48(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01G9/04(2006.01)I |
代理机构 |
南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 |
代理人 |
柏尚春 |
主权项 |
一种太阳能电池中的多孔氧化锌薄膜的制备装置,其特征在于:该装置包括真空室(4)、分别与该真空室(4)相连的用于向该真空室注入氩气的高压氩气瓶(6)和用于控制从所述真空室(4)抽出气体流量的分子泵(5)、放置在真空室(4)内底部的钽炉(1)和放置在真空室(4)内上部的导电玻璃(3)、放置在钽炉(1)内的氮化硼坩埚(2),氧化锌放置在氮化硼坩埚(2)内,钽炉(1)两端链接电源。 |
地址 |
210096 江苏省南京市四牌楼2号 |