无定形碳膜的制备方法

摘要

本发明所述用于制造无定形碳膜的方法是用于制造无定形碳膜的方法，包括将基底S的表面与气泡B接触，其中该气泡已经形成于含有有机化合物的液体L中，并且气泡内部已经产生等离子体，从而在基底S的表面上形成无定形碳膜，所述液体L包含选自碳数目为1到12的酚和醇中的一种或多种。根据本发明的方法，硬的无定形碳膜可以很容易地形成。

主权项

一种用于制造无定形碳膜的方法，包括：在含有有机化合物的液体中产生气泡，同时向所述气泡辐射电磁波以在气泡内部产生等离子体，并使所述气泡与基底的表面接触，从而在所述基底的表面上形成无定形碳膜，其特征在于，所述有机化合物含有选自碳数目为1到12的酚和醇中的一种或多种，并且至少在开始产生气泡和等离子体时降低压力，气泡和等离子体的产生在1‑600hPa下开始，此后气泡和等离子体在正常压力下产生。