| 发明名称 | 晶舟 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶舟，用于装载超薄晶片，所述晶舟包括盒体，所述盒体两侧具有相对的挡板，所述超薄晶片放置于所述挡板上，所述盒体内还设置有支撑板，所述支撑板与所述挡板平行，且位于同一平面，所述支撑板支撑所述超薄晶片，防止所述超薄晶片变形，并且所述挡板的宽度大于现有的晶舟中的挡板的宽度，从而使得超薄晶片不易滑落受损，可安全有效地存储及运载超薄晶片。 | ||
| 申请公布号 | CN201845746U | 申请公布日期 | 2011.05.25 |
| 申请号 | CN201020564748.1 | 申请日期 | 2010.10.16 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 张明华;蒋莉;黎铭琦;白英英 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种晶舟，用于装载晶片，所述晶舟包括盒体，所述盒体两侧具有相对的挡板，其特征在于，所述盒体内还设置有支撑板，所述支撑板与所述挡板平行，且位于同一平面。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区上海市张江路18号 | ||