| 发明名称 | 传送系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种传送系统，所述传送系统包括：承载台，用以承载晶舟；驱动轴，其一端与所述承载台连接，用以驱动所述承载台的上升与下降；马达，通过传动装置与所述驱动轴连接，用以控制所述驱动轴的动作；光轴，通过滑动装置与所述驱动轴滑动连接；所述光轴上设置有制动装置，所述制动装置上设置有传感器，所述传感器与马达控制器连接，所述马达控制器与所述马达连接。本实用新型的传送系统做自动校正时，能解决驱动轴下沉，从而引起的承载台及承载台上的晶舟受损的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN201845751U | 申请公布日期 | 2011.05.25 |
| 申请号 | CN201020565105.9 | 申请日期 | 2010.10.16 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 周琦;李秀军;李友溪;袁洪 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种传送系统，包括：承载台，用以承载晶舟；驱动轴，其一端与所述承载台连接，用以驱动所述承载台的上升与下降；马达，通过传动装置与所述驱动轴连接，用以控制所述驱动轴的动作；光轴，通过滑动装置与所述驱动轴滑动连接；其特征在于，所述光轴上设置有制动装置，所述制动装置上设置有传感器，所述传感器与马达控制器连接，所述马达控制器与所述马达连接。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区上海市张江路18号 | ||