发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR DEPOSITING A SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 EP1060285(B1) 申请公布日期 2011.05.25
申请号 EP19990903204 申请日期 1999.01.20
申请人 FIRST SOLAR, INC 发明人 POWELL, RICKY, C.;DORER, GARY, L.;REITER, NICHOLAS, A.;MCMASTER, HAROLD, A.;COX, STEVEN, M.;KAHLE, TERENCE, D.
分类号 C23C14/24;C23C16/453;C03C17/00;C03C17/22;C23C14/56;H01L21/363;H01L21/365 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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