发明名称 An electrically-heated evaporation source
摘要
申请公布号 GB1032901(A) 申请公布日期 1966.06.15
申请号 GB19650000115 申请日期 1965.01.01
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 MELNICK IGOR
分类号 B01D1/00;B01D1/22;C23C14/26 主分类号 B01D1/00
代理机构 代理人
主权项
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