| 主权项 |
一种半导体制程装置，包含：一真空箱；一晶圆平台，系位于该真空箱内，用以让一晶圆置放于其上方；一夹取装置，系位于该真空箱内，用以夹取一透明光学另件置于该晶圆上；以及一光源，系位于该真空箱内，该光源系打光穿透该透明光学另件于该晶圆上形成一影像，用以进行一测试来确认该透明光学另件与该晶圆间是否有因杂质而造成该影像不良。依据申请专利范围第1项所述之半导体制程装置，进一步包含至少一个测试装置，系位于该真空箱内，并设置于该夹取装置与该晶圆平台之间，该至少一个测试装置中皆具有一测试电路及一探针卡，该探针卡具有复数个探针，该等探针系个别与该晶圆上的电子接点电气连接，用以对该晶圆做功能性检测。依据申请专利范围第1项所述之半导体制程装置，其中该测试为确认是否有因杂质而造成该影像不良。 |
