A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SLURRY SYSTEM HAVING AN ACTIVATOR SOLUTION,申请号HK20020100828-传众专利搜索

发明名称	A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SLURRY SYSTEM HAVING AN ACTIVATOR SOLUTION
摘要
申请公布号	HK1040412(A1)	申请公布日期	2011.05.20
申请号	HK20020100828	申请日期	2002.02.02
申请人	PLANAR SOLUTIONS, LLC	发明人	MAHULIKAR, DEEPAK
分类号	B24B37/00;A01N33/06;A01N43/40;A01N59/08;B24B;C09G;C09G1/02;C09K;C09K3/14;C09K13/02;C09K13/04;C09K13/06;C09K13/08;H01L21/304;H01L21/306	主分类号	B24B37/00
代理机构		代理人
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