GETTER AYANT DEUX TEMPERATURES D'ACTIVATION ET STRUCTURE COMPORTANT CE GETTER

摘要

La structure comporte une cavité fermée sous atmosphère contrôlée dans laquelle est disposé un getter monobloc (8) avec une première couche getter (9a). La première couche getter (9a) présente au moins des première (9a1) et deuxième (9a2) zones getters qui ont des températures d'activation différentes. La seconde zone getter (9a2) est formée sur une sous-couche d'ajustement (10) de la température d'activation de matériau getter.