| 摘要 |
1. Устройство для выращивания монокристалла кремния из расплава, содержащее камеру с отверстиями для вытягивания кристалла, подачи и удаления газа, в которой на подставке, установленной на штоке, размещен тигель с расплавом кремния и нагреватель, закрытый верхним экраном и окруженный боковым экраном, отличающееся тем, что боковой экран выполнен из установленных на опорном графитовом кольце внутреннего и внешнего экранов, пространство между которыми заполнено материалом, имеющим коэффициент теплопроводности более низкий, чем у графита, например карбидом кремния, а по наружному периметру внешнего экрана и опорного кольца выполнена обмотка из слоев графитовой ткани. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что внутренний и внешний экраны выполнены из графита. ! 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что внутренний и внешний экраны выполнены из графит-графитного композита. |
