发明名称 Vakuumbearbeitungsvorrichtung und Vakuumbearbeitungsverfahren
摘要
申请公布号 DE112009001885(T5) 申请公布日期 2011.05.19
申请号 DE200911001885T 申请日期 2009.08.04
申请人 ULVAC INC. 发明人 IIJIMA, EIICHI;IKEDA, HIROTO;HAKOMORI, MUNETO
分类号 C23C14/24;H01L21/677 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
地址