发明名称 POLYMER PHOTO ACTIVE COMPOUND, PHOTORESIST COMPOSITION AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTORESIST COMPOSITION INCLUDING THE SAME
摘要
申请公布号 KR101035845(B1) 申请公布日期 2011.05.19
申请号 KR20040007116 申请日期 2004.02.04
申请人 发明人
分类号 G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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