Verfahren zur der Empfindlichkeitsbestimmung eines Beschleunigungs- oder Magnetfeldsensors

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der Empfindlichkeit eines Sensors, uewegliche, federnd gelagerte, seismische Masse (2), mindestens eine erste Elektrodenanordnung (3, 4) zum Auslenken der Masse (2) bezüglich des Substrats (1) entlang einer Messachse (M), und mindestens eine zweite Elektrodenanordnung (5, 6, 7) zum Auslenken der Masse (2) bezüglich des Substrats (1) entlang der Messachse (M). Dabei umfasst das Verfahren den Verfahrensschritt a), in dem eine erste Auslenkspannung (U) an die erste Elektrodenanordnung (3, 4) und eine zweite Auslenkspannung (U) an die zweite Elektrodenanordnung (5, 6, 7) angelegt wird, wobei auf die Masse (2) eine erste elektrostatische Kraft (F) durch die erste Elektrodenanordnung (3, 4), eine zweite elektrostatische Kraft (F) durch die zweite Elektrodenanordnung (5, 6, 7) und eine Rückstellkraft (F) durch die Federung der Masse (2) ausgeübt wird, wobei sich zwischen der ersten elektrostatischen Kraft (F), der zweiten elektrostatischen Kraft (F) und der Rückstellkraft (F) ein Kräftegleichgewicht einstellt und die Masse (2) eine für das Kräftegleichgewicht charakteristische Auslenkposition (x) einnimmt, und ein für das Kräftegleichgewicht und die Auslenkposition (x) charakteristisches Ausgangssignal (U) gemessen wird, und den Verfahrensschritt b), in dem die Empfindlichkeit des Sensors auf der Basis der ersten (U) und zweiten (U) ...