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发明名称 Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines Bauelements mittels eines Elektroplattierungsprozesses
摘要
申请公布号 DE102010060272(A1) 申请公布日期 2011.05.19
申请号 DE20101060272 申请日期 2010.10.29
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 POHL, JENS;BARTH, HANS-JOACHIM;BEER, GOTTFRIED;STEINER, RAINER;ROBL, WERNER;VAUPEL, MATHIAS
分类号 H01L21/768;H01L21/60;H01L23/50;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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