低惯性多轴多方向机械扫描离子注入系统

摘要

提供了一种被配置用于制造离子束(210)的离子注入系统(100)，其中，末端站(216)具有机器人构造(250)，所述机器人构造(250)具有至少四个自由度。被可操作地连接至机器人构造的末端执行器(229)选择性地抓紧工件(228)以及使工件(228)平移通过离子束。机器人构造具有可操作地连接至末端站的多个电机(254)，每个电机具有旋转轴(256)。每个旋转轴的至少一部分通常位于末端站内，多个电机中的每个电机具有分别与之相关联的连杆组件(252)，其中每个连杆组件分别具有曲轴臂(258)和支柱(260)。每个连杆组件的曲轴臂被固定地连接至各自的旋转轴，以及每个连杆组件的支柱在第一接头(262)处被枢转地连接至各自的曲轴臂，并且在第二接头(264)处被枢转地连接至末端执行器。

主权项

一种离子注入系统，所述离子注入系统包括：离子源，所述离子源被配置以形成离子束；质量分析器，所述质量分析器被配置以对所述离子束进行质量分析；和末端站，其中所述末端站包括具有至少四个自由度的机器人构造；以及末端执行器，所述末端执行器被可操作地连接至所述机器人构造且被配置以选择性地抓紧工件，其中，所述机器人构造被配置以选择性地使所述工件平移通过所述离子束。