发明名称 |
一种微机械谐振式器件闭环驱动用的PID控制装置 |
摘要 |
本发明涉及一种微机械谐振式器件闭环驱动用的PID控制装置,其与一乘法器、一微机械谐振式器件、一前置读出电路、一滤波器和一幅度提取器构成一微机械谐振式器件闭环系统,其特征在于:所述PID控制装置由两个PID控制器和至少一个加法器构成,所述PID控制装置的输入端连接所述幅度提取器的输出端,所述PID控制装置的输出端连接所述幅度提取器的输入端。本发明能够使微机械谐振式器件的闭环系统同时满足跟踪性能和抗干扰性能,适用于谐振式微悬臂梁、微谐振器、微机械陀螺和谐振式微加速度计等微机械谐振式器件的闭环驱动控制。 |
申请公布号 |
CN102063057A |
申请公布日期 |
2011.05.18 |
申请号 |
CN201010529243.6 |
申请日期 |
2010.10.28 |
申请人 |
北京大学 |
发明人 |
崔健;闫桂珍;郭中洋;杨振川;郝一龙 |
分类号 |
G05B11/42(2006.01)I |
主分类号 |
G05B11/42(2006.01)I |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 |
代理人 |
徐宁;关畅 |
主权项 |
一种微机械谐振式器件闭环驱动用的PID控制装置,其与一乘法器、一微机械谐振式器件、一前置读出电路、一滤波器和一幅度提取器构成一微机械谐振式器件闭环系统,其特征在于:所述PID控制装置由两个PID控制器和至少一个加法器构成,所述PID控制装置的输入端连接所述幅度提取器的输出端,所述PID控制装置的输出端连接所述幅度提取器的输入端。 |
地址 |
100871 北京市海淀区颐和园路5号北京大学微电子研究院 |